如請求項2之方法，其中該將一玻璃毛細管安置於一金屬配件之一通孔中包含安置呈具有一恆定直徑之一管之形式的該玻璃毛細管，且其中該加熱及該施加一壓力會改變該毛細管之形狀。 玻璃毛細管210之CTE可與金屬配件220之CTE接近地匹配，或略微低於但並不略微高於金屬配件220之CTE。 舉例而言，在噴嘴之製造期間及/或在使用中，若玻璃毛細管210之CTE高於金屬配件220，則在噴嘴200之冷卻期間，玻璃毛細管210將比金屬配件220收縮更快地收縮。 玻璃毛細管210與金屬配件220之間的此類收縮速率差異可不利於玻璃至金屬密封件之完整性。 愛得恩 亦即，玻璃毛細管210與金屬配件220之間的此類收縮速率差異可使玻璃毛細管與金屬配件220分離。
術語「玻璃至金屬」密封件係指玻璃與金屬之間的密封件，例如氣密密封件，其中金屬被認作包含金屬、金屬合金及/或金屬氧化物。 亦即，術語「玻璃至金屬密封件」應被理解為包含玻璃與金屬之間的密封件，其中金屬可包含氧化物層。 愛得恩2025 該方法可包含使玻璃毛細管210及/或金屬配件220退火之步驟。 玻璃毛細管210之退火所需之特定溫度及/或加熱及/或冷卻速率可取決於玻璃之特定玻璃類型及/或組成物。
- 在一些實例實施例中，金屬配件220之至少一部分，例如金屬配件之通孔之至少一部分，可經氧化以確保在形成玻璃至金屬密封件之前存在適當及/或足夠的氧化物層。
- 因此，自金屬配件220延伸或突起的玻璃毛細管210之一或多個部分的非想要的變形可受限制。
- 小滴產生器可包括用以將燃料發射為小滴之噴嘴總成。
- 應注意，在金屬配件220內膨脹的玻璃毛細管210之一部分相比於可曝露於氣體流的玻璃毛細管210之部分包含較薄側壁。
- 因此，對於熟習此項技術者而言將顯而易見，可在不脫離下文所陳述之申請專利範圍之範疇的情況下對所描述之本發明進行修改。
- 因而，套接管130可經受除氣，例如H2O除氣，此可在使用中污染由玻璃毛細管110發射之燃料。
此外，此類研磨或拋光可移除非想要的碎屑或氧化物層。 愛得恩 詳言之，對於包含鉬之金屬配件220，氧化鉬層可形成於金屬配件220之端245或面上。 此外，歸因於所施加之外壓力、金屬配件220之溫度及玻璃毛細管210之溫度，在玻璃毛細管210與金屬配件220之間形成玻璃至金屬密封件。 藉由加熱金屬配件220，可將玻璃毛細管210加熱至玻璃毛細管210變軟之位準。 亦即，玻璃毛細管210可被加熱至藉以玻璃毛細管210自剛性狀態轉變至例如相對韌曲或部分熔融狀態之軟化狀態的程度。
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如請求項1之方法，其中將該玻璃毛細管安置於該金屬配件之該通孔中之步驟包含將該玻璃毛細管安置於該通孔中，使得該玻璃毛細管自該通孔之兩個端突起。 可將金屬配件220加熱至在800 K至2000 K之範圍內之溫度。 金屬配件220可被加熱至之溫度可取決於用於玻璃毛細管210之材料。 舉例而言，對於包含石英之玻璃毛細管210可能需要大約1800 K之溫度，且對於包含硼矽酸鹽之玻璃毛細管210可能需要大約800 K之溫度。 將該玻璃毛細管安置於該金屬配件之該通孔中可包含將該玻璃毛細管安置於該通孔中，使得該玻璃毛細管自該通孔之兩個端突起。
- 在一些實施例中，金屬配件220可包含金屬合金，諸如不鏽鋼或其類似者。
- 微影裝置可例如將圖案自圖案化器件(例如遮罩)投影至設置於基板上之諸如光阻或簡單地為抗蝕劑之輻射敏感材料層上。
- 可藉由諸如由一或多個夾具或其類似者夾持玻璃毛細管之一或多個部分並使一或多個夾具相對於金屬配件220移動來施加此類外力。
- 有益地，氣體流可對曝露於氣體流的玻璃毛細管210之部分產生冷卻效應。
- 如任一前述條項之方法，其中在包含該噴嘴之一操作溫度範圍及該噴嘴之一製造溫度範圍的一溫度範圍內，該玻璃毛細管之一熱膨脹係數小於或等於該金屬配件之一熱膨脹係數。
- 藉由使玻璃毛細管210之CTE與金屬配件220之CTE接近地匹配，可避免在將噴嘴加熱至工作溫度(例如對於熔融錫為500 K至500 K)之後使玻璃毛細管破裂。
由燃料施加之此類壓力可在一定程度上進一步使玻璃毛細管210膨脹，因此相抵於金屬配件220按壓玻璃毛細管210。 因此，玻璃毛細管210與金屬配件220之間的玻璃至金屬密封件可至少在一定程度上形成自激密封件，例如歸因於在使用中施加至玻璃毛細管210之內表面之壓力而改良之密封件。 舉例而言，包含鉬之金屬配件可具有約5.5 ppm/K之CTE。 因而，玻璃毛細管之CTE之預定義範圍可為例如+/- 0.5 ppm/K。 各種硼矽酸鹽或鋁矽酸鹽玻璃包含在+/- 0.5 ppm/K內與鉬匹配之CTE。 可選擇CTE低於金屬配件之CTE的玻璃毛細管以在金屬配件與玻璃毛細管之間產生干涉配合。
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噴嘴總成100包含用於自燃料發射器發射燃料小滴之玻璃毛細管110。 使玻璃毛細管210退火之步驟可在移除自金屬配件220之端245或面突起(例如突出)的玻璃毛細管210之部分之步驟之前及/或之後執行。 愛得恩2025 在圖3c之實例中，在由箭頭260、265展示之方向上將壓力施加至玻璃毛細管210之端225、230。
可注意，在下文所描述之加熱步驟之前，玻璃毛細管210並不具有與包括部分240之通孔235相同的形狀。 更確切而言，在加熱之前，玻璃毛細管210為筆直，其具有恆定外徑，且並不符合部分240或通孔235之形狀，如圖3a所展示。 儘管上文已特定地參考在用於雷射產生電漿輻射源之小滴產生器之內容背景中對本發明之實施例之使用，但應瞭解，根據所主張及所描述之方法製造之噴嘴可適用於及/或適合用於各種其他應用中。 舉例而言，此類噴嘴可大體上適用於任何流體輸送應用，且尤其是適用於待輸送之流體處於壓力下的任何流體輸送應用。 泵或壓縮機可以可連通方式耦接至玻璃毛細管210以將氣體泵送至玻璃毛細管之第一端225中。 舉例而言，如圖3b所展示，玻璃毛細管之一部分自金屬配件220之端245或面突起，例如自金屬配件220之端245或面向外延伸。
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亦可諸如由溫度控制烘箱或腔室例如與加熱金屬配件同時地直接加熱玻璃毛細管210。 替代地(或另外)，可由如上文所描述之金屬配件220加熱玻璃毛細管210。 在一些實施例中，金屬配件220可包含例如鋁及/或鉑。
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舉例而言，金屬配件220可安置於護罩、容器、腔室、圍封體或其類似者內，且諸如空氣之周圍氣體可自護罩、容器、腔室或圍封體被排出或以其他方式泵送或激勵以達成相對真空，例如部分真空或低壓環境。 有益地，例如部分真空或低壓環境之相對真空可防止玻璃毛細管210或金屬配件220之一或多個表面氧化。 因此，在相對真空或低壓環境中加熱金屬配件220可防止或至少最小化此類氧化。
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因而，可使用任何合適方式將軟管或管件(未展示)附接至玻璃毛細管210之突起部分以在軟管或管件與玻璃毛細管210之間形成密封件。 泵或壓縮機可以可連通方式耦接至軟管或管件，且因此經組態以將內壓力施加至玻璃毛細管210。 玻璃毛細管210為中空玻璃管，其在第一端225及第二端230處敞開。 玻璃毛細管210可包含例如硼矽酸鹽、鋁矽酸鹽或石英。 愛得恩 玻璃毛細管210可包含例如鈉鈣玻璃或鹼性鋇玻璃。 玻璃毛細管210可包含鹼性鋇鋁硼矽酸鹽玻璃。
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舉例而言，可將玻璃毛細管210在冷卻至環境溫度之前加熱至約600 K至800 K，但在其他實施例中亦可使用其他溫度。 如圖3c所展示，由箭頭260、265展示之反向壓縮力係在相對於玻璃毛細管210之縱向方向上施加。 此類外力可由任何適當方式施加，諸如藉由將玻璃毛細管210安置於機器壓機中。 可藉由將玻璃毛細管210安置於諸如板之中間構件之間且隨後將外壓力施加至中間構件來施加此類外力。 可藉由諸如由一或多個夾具或其類似者夾持玻璃毛細管之一或多個部分並使一或多個夾具相對於金屬配件220移動來施加此類外力。 詳言之，且如圖3c所展示，玻璃毛細管210在通孔之截頭錐形部分240內膨脹及/或變形，直至其接觸金屬配件220之通孔之截頭錐形部分240。
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如任一前述條項之方法，其中在加熱該金屬配件期間及/或之後將該壓力施加至該玻璃毛細管。 如任一前述條項之方法，其中在包含該噴嘴之一操作溫度範圍及該噴嘴之一製造溫度範圍的一溫度範圍內，該玻璃毛細管之一熱膨脹係數小於或等於該金屬配件之一熱膨脹係數。 如任一前述條項之方法，其中該金屬配件包含鉬、鉭、鎢或一金屬合金，及/或該玻璃毛細管包含一硼矽酸鹽、一鋁矽酸鹽或石英。 如任一前述條項之方法，其中該金屬配件之至少一部分包含一金屬氧化物層。 如任一前述條項之方法，其進一步包含在允許該金屬配件冷卻之後使該玻璃毛細管及/或該金屬配件退火。 如任一前述條項之方法，其中加熱該金屬配件包含感應加熱該金屬配件。
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亦即，玻璃毛細管210可被直接加熱或由金屬配件220加熱，直至形成玻璃毛細管210之玻璃之黏度減小至玻璃變得相對韌曲之程度。 該金屬配件之至少一部分可包含一金屬氧化物層。 舉例而言，形成該玻璃至金屬密封件的該金屬配件之一通孔之至少一部分可包含一金屬氧化物層。
因此，自金屬配件220延伸或突起的玻璃毛細管210之一或多個部分的非想要的變形可受限制。 製造用於小滴產生器之噴嘴200之方法中的第一步驟可包含將玻璃毛細管210安置於金屬配件220之通孔235、240中。 應瞭解，提供金屬氧化物層會適用於用以形成玻璃至金屬密封件之任何金屬。 舉例而言，包含鉬、鎢、鉭及/或諸如鎳鈷鐵合金之金屬合金中之任一者之金屬配件220可包含金屬氧化物層。
因而，套接管130可經受除氣，例如H2O除氣，此可在使用中污染由玻璃毛細管110發射之燃料。 玻璃毛細管110可耦接至可為燃料發射器之組件之配件120，或可耦接至燃料發射器。 為了將圖案投影至基板上，微影裝置可使用電磁輻射。 此輻射之波長判定可形成於基板上之特徵之最小大小。
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由於此相互作用，產生了經圖案化EUV輻射光束B’。 投影系統PS經組態以將經圖案化EUV輻射光束B’投影至基板W上。 出於彼目的，投影系統PS可包含複數個鏡面13、14，該複數個鏡面經組態以將經圖案化EUV輻射光束B’投影至由基板臺WT固持之基板W上。 投影系統PS可將減縮因數應用於經圖案化EUV輻射光束B’，因此形成特徵小於圖案化器件MA上之對應特徵之影像。
在已形成玻璃至金屬密封件之後，可移除帽250或密封件。 愛得恩2025 愛得恩2025 帽250或密封件之移除可包含移除(例如切去)玻璃毛細管210之一部分。 僅出於實例之目的，圖3b展示帽250密封玻璃毛細管210之第二端230。 在圖3b之實例中，在由箭頭255展示之方向上將氣體泵送至玻璃毛細管之第一端225中。 若需要此類氧化物層，但發現其最初不存在或不足，則可處理金屬配件220以形成氧化物層。
儘管投影系統PS在圖1中被繪示為僅具有兩個鏡面13、14，但投影系統PS可包括不同數目個鏡面(例如六個或八個鏡面)。 該玻璃毛細管之一熱膨脹係數可實質上相同於或小於該金屬配件之一熱膨脹係數。 愛得恩 詳言之，在包含該噴嘴之一操作溫度範圍及該噴嘴之一製造溫度範圍的一溫度範圍內，該玻璃毛細管之該熱膨脹係數可實質上相同於或小於該金屬配件之一熱膨脹係數。 此外，可研磨及/或拋光玻璃毛細管之端(例如在移除上述突起部分之後)及/或金屬配件220之端245或面。 此類研磨及/或拋光可提供光滑表面，使得玻璃毛細管210之端與金屬配件220之端245或面齊平。
在此狀況下，雷射光束2可憑藉包含例如合適引導鏡面及/或光束擴展器及/或其他光學件之光束遞送系統(未展示)自雷射系統1傳遞至輻射源SO。 雷射系統1、輻射源SO及光束遞送系統可一起被視為輻射系統。 已展示，可在使用中由順應式套接管130維持之最大壓力顯著地受限制。
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舉例而言，作為燃料之液體錫之操作溫度範圍可為約300 K至530 K。 第一開口225或第二開口230可由例如塞、蓋或帽密封。 另外或替代地，第一開口225或第二開口230可由例如膠或諸如可固化樹脂之樹脂或其類似者密封。 在一個實施例中，提供每分鐘介於4標準公升與8標準公升之間的氬氣氣體流，但在其他實施例中使用其他氣體流。
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儘管圖2將輻射源SO描繪為雷射產生電漿源，但可使用諸如放電產生電漿源或自由電子雷射之任何合適源以產生EUV輻射。 EUV輻射光束B聚焦於中間焦點6處以在存在於電漿形成區4處之電漿之中間焦點6處形成影像。 中間焦點6處之影像充當用於照明系統IL之虛擬輻射源。 輻射源SO經配置使得中間焦點6位於輻射源SO之圍封結構9中之開口8處或附近。
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可自該金屬配件突起的該玻璃毛細管之至少一個部分可藉由以下各者中之至少一者被移除：砂磨、研磨、拋光及/或切割。 有利地，一直接玻璃至金屬密封件避免了需要實施一套接管以在該玻璃毛細管與該金屬配件之間形成一可靠、穩定及高效能密封件。 此外，此類玻璃至金屬密封件可改良該噴嘴之一總勁度及聲學行為。 愛得恩 此外，套接管130可在使用中變形，因此影響形成於玻璃毛細管110與配件120之間的密封件之可靠性、穩定性及效能。 此外，套接管130之此類變形可影響噴嘴100之聲學行為。
在其他實施例中，整個通孔可為實質上截頭錐形。 亦應瞭解，在落入本發明之範疇內之替代實施例中，通孔可為筆直或實質上筆直。 通孔之形狀可包括均一圓柱形區段及截頭錐形區段。 可藉由小滴產生器朝向雷射光束之路徑引導燃料。 小滴產生器可包括用以將燃料發射為小滴之噴嘴總成。 此類噴嘴總成可在加壓及/或高溫環境中操作，且因而，可能有必要在噴嘴總成之組件之間形成耐溫及耐壓密封件(例如氣密密封件)。
因此，有益的是使玻璃毛細管210的收縮速率小於或等於金屬配件220之收縮速率。 圖3d描繪由根據本發明之實施例之方法製造的噴嘴。 與圖3b及圖3c對比，已移除自金屬配件220之端245或面突起(例如突出)的玻璃毛細管210之部分。 該部分之移除可包含砂磨、研磨、拋光及/或切割中之至少一者。
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在其他實施例中，自金屬配件220之端245或面突起的玻璃毛細管210之部分可保留在原位，及/或形成為邊緣。 可將該氛圍之溫度控制或維持為處於相對恆定位準。 有益地，藉由將惰性氛圍提供為氣體流，可最小化惰性氛圍之加熱。 有益地，氣體流可對曝露於氣體流的玻璃毛細管210之部分產生冷卻效應。
此外，密封第一開口225或第二開口230之步驟可在將玻璃毛細管210安置於金屬配件220之通孔235、240中之步驟之前或之後執行。 加熱及下文所描述之加壓使玻璃毛細管210在金屬配件220內膨脹以符合金屬配件之通孔235之形狀。 應注意，在金屬配件220內膨脹的玻璃毛細管210之一部分相比於可曝露於氣體流的玻璃毛細管210之部分包含較薄側壁。 有益地，此類氣體流可確保可曝露於氣體流的玻璃毛細管210之部分的側壁之厚度維持於所要位準，且不經受可使玻璃毛細管210之側壁變薄之非想要的變形，諸如膨脹。 在又一實施例中，金屬配件220可在例如低壓環境之相對真空環境中被加熱。